info@kosartech.com
مولف: علی کوثری مهر
نقطه‌ی روشن آندی (آنداسپات) یا گوی آتشین (فایربال) پدیده‌ای است که در آن شاهد به وجود آمدن یک پلاسما با پتانسیل بالا در سطح الکترودی هستیم که بایاس مثبت بالاتری از پلاسمای بالک دارد. این پلاسمای پتانسیل-بالا به موجب حرکت برونسوی یک دولایه (ساختاری در پلاسما شامل دو لایه‌ی موازی از بارهای الکتریکی مخالف) حاصل می‌گردد؛ این دولایه به دلیل نرخ یونیزاسیون حاصل از برخورد با الکترون مکفی ذرات خنثی در نزدیکی الکترود شکل می‌گیرد.
بکارگیری این پدیده برای کمک به فرآیند کندوپاش توسط کوثری مهر پیشنهاد شد؛ این روش کندوپاش با کمک نقطه‌ی روشن آندی نام گرفت. هدف اصلی این روش نو بکارگیری پلاسمای پتانسیل-بالا و چگال نقطه‌ی روشن آندی به عنوان یک پلاسمای ثانویه برای یونیزه کردن چشمگیر اتم‌های خنثی/کندوپاش شده در نزدیکی زیرلایه و امکان انباشت همزمان ذرات کندوپاشی و محصولات تولید شده در نتیجه‌ی آزادسازی غبار (داست) در این پلاسمای چگال است.
نمونه‌ی پیشنهاد شده‌ی مقدماتی این روش انباشت از موارد ذیل تشکیل شده است: سه منبع مغناطیسی (منبع بزرگتر تفنگ کندوپاش است که به عنوان کاتد عمل می‌کند و منابع کوچکتر به عنوان آند یا تفنگ‌های معکوس عمل می‌کنند)، یک توری توخالی/شفاف، یک نگه دارنده‌ی زیرلایه، حفاظ‌های آند، یک محفظه‌ی بزرگ، منابع تغذیه، ورودی‌های گاز و خروجی‌های پمپ. در این سیستم، نقطه‌ی روش آندی به وجود آمده در منطقه‌ی تفنگ‌های معکوس می‌تواند به عنوان ستونی برای یونیزه کردن اتم‌هایی خنثی که به این منطقه وارد می‌شوند، بکار گرفته شوند. برای مشاهده‌ی پیکربندی شماتیک و آگاهی از اطلاعات جامع در مورد این روش به این پیوند مراجعه کنید.
